表面抵抗と体積抵抗の違いは？
表面抵抗：試料の表面を伝って流れる電流の抵抗を表します。試料の表面に電極を置いて測定を行います。
体積抵抗：試料の内部を伝って流れる電流の抵抗を表します。試料の表面と裏面に電極を配し、測定を行います。
※体積抵抗率の計算方法についてはこちらをご参考ください。
表面抵抗が測定可能な電極
| 表面抵抗(点間抵抗) | 表面抵抗 | |
| F-101 電極 |
F-108 2点プローブ |
F-107 電極（表面抵抗測定用） |
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体積抵抗が測定可能な電極
| 体積抵抗 |
| F-107 電極（表面抵抗測定用） + F-102 電極 |
+  |
※F-107にアース線を接続することで、外側の電極がガード電極(試料の表面を伝った、測定誤差に影響する電流を防ぐ役割)となります。
F-101やF-108にはこのガード電極の役割となる電極がございませんので、正確な体積抵抗の測定にはご使用いただけません。
