清浄度(クリーン度)クラスについて
清浄度の規格は、JIS-B9920や米国連邦規格、NASA規格などがあります。
最も代表的な米国連邦規格において、0.5μm以上の微粒子が1CF(立方フィート)の空気中に何個あるかで、クラス○○○と呼びます。
●クラス1000・・・微粒子が1000個以下。
●クラス10000・・・微粒子が10000個以下。
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