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Q. クリーンブースが規定のクリーン度に到達するのにはどれ位の時間がかかりますか?

CL-901クリーンブースを最大に拡張させた状態で15分運転後、下記の測定箇所において高さ1000mmの位置でパーティクルカウンターを用いて実測した結果を下表に示します。


測定箇所 0.3μm粒子
(個/CF)
0.5μm粒子
(個/CF)
1 17939 2407
2 18732 2472
3 13884 1955
4 8578 1237
5 11780 1658
6 5638 785
7 9738 1526
8 12032 1821
9 18235 2798
10 16470 2413


各製品の清浄度クラス

CL-901:縮小時クラス1000~拡張時クラス10000

CL-903:クラス10000

参考になった 参考にならなかった