表面抵抗：試料の表面を伝って流れる電流の抵抗を表します。試料の表面に電極を置いて測定を行います。

体積抵抗：試料の内部を伝って流れる電流の抵抗を表します。試料の表面と裏面に電極を配し、測定を行います。

　　　　　 ※体積抵抗率の計算方法についてはこちらをご参考ください。

表面抵抗が測定可能な電極

表面抵抗(点間抵抗)		表面抵抗
F-101 電極	F-108 2点プローブ	F-107 電極（表面抵抗測定用）

体積抵抗が測定可能な電極

体積抵抗

F-107 電極（表面抵抗測定用）　　　+　　　　　　　　F-102 電極

+

※F-107にアース線を接続することで、外側の電極がガード電極(試料の表面を伝った、測定誤差に影響する電流を防ぐ役割)となります。

　F-101やF-108にはこのガード電極の役割となる電極がございませんので、正確な体積抵抗の測定にはご使用いただけません。