点間抵抗(表面抵抗)と接地抵抗(EPAグラウンド抵抗)を満たしている状態であれば、1MΩの抵抗は特に必要ありません。
導電性マット・シートは種類によって初期抵抗値が低いものがあり、EPAグラウンド抵抗の下限値を設定している場合にはその下限値が満たせないものも存在します。
(下限値自体は設定してもしなくてもよいことになっています。静電気対策の規格(RCJS-5-1)上、静電気対策の責任者に設定の裁量があります。)
下限値を設定している場合、アース線側に抵抗を入れることでグラウンドまでの抵抗を嵩上げして、マット・シートとアース線の1MΩの合成抵抗で規格の下限値を満たします。
したがって、規格上の管理値を満たしている状態であれば、1MΩの抵抗は特に必要ありません。
規格値や測定方法など詳しい内容は特設サイト「静電気対策の森」の「静電気対策ノウハウ集」をご覧ください。